Gökşen, KadirŞimşek, Tamer2020-04-302020-04-3020172148-2446https://app.trdizin.gov.tr/makale/TWpZMk9UYzRPQT09https://hdl.handle.net/20.500.12684/1946Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştırIn this study, optical band gap values of amorphous Hydrogenated Carbon (a-C:H) thin films produced with several plasma gas flow rates were investigated by means of transmission experiments. As a result of evaluations, it was found that the flow rate of CH4 gas does not affect thin film thickness. Moreover, it was revealed that the dependence of optical band gap energies of thin films on CH4 gas flow rate was not linear. Tihs dependence was theoretically modelled. The mathematical model was used to predict the production parameters necessary to produce thin films that have potential to work efficiently at wavelengths used commonly in today’s communication technologiestrinfo:eu-repo/semantics/openAccessArticle518495